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臭氧脫硝系統采用臭氧作為脫硝的反應物，把臭氧通過(guò)臭氧格柵均勻的注入煙氣中，把不溶性的氮氧化物（NO）轉變成為水溶性氮氧化合物（NO2或N2O3，或N2O5）。臭氧可通過(guò)臭氧發(fā)生器在現場(chǎng)按煙氣中的氮氧化物濃度來(lái)定量生產(chǎn)。

臭氧脫除氮氧化物是一個(gè)低溫系統，不需要像 SCR和SNCR系統那樣需要較高的溫度窗口。臭氧發(fā)生器可以是對生產(chǎn)過(guò)程中煙氣中的NOx量做出及時(shí)的響應。無(wú)論煙氣流量或者氮氧化物含量的波動(dòng)，臭氧發(fā)生系統都可以在線(xiàn)及時(shí)響應，在節省能量的同時(shí)控制凈煙氣中氮氧化物的排放量。

臭氧脫硝系統對酸性氣體或微粒沒(méi)有不良的敏感性，一些微粒甚至可能提高反應，這些微粒會(huì )促進(jìn)催化氧化反應。通過(guò)一系列的反應不溶性NO轉化為了NO2并會(huì )形成可溶性N2O5。N2O5是高度可溶性，并迅速與煙氣中的水分發(fā)生反應，形成硝酸。

NO經(jīng)臭氧轉化后進(jìn)入脫硫塔，在脫硫塔中NO2、N2O5等氮氧化物迅速的與噴淋下來(lái)的堿性漿液接觸反應，生成硝酸鹽等物質(zhì)，隨著(zhù)脫硫副物硫酸鹽一起進(jìn)入脫硫后處理裝置。臭氧與NOx的反應是非?？焖俚?，這使臭氧成為在處理NOx時(shí)具有較高的選擇性，通過(guò)控制反應時(shí)間和臭氧的數量很容易控制對CO和SOx等化合物的氧化反應，使得在脫硝中臭氧利用率高。